D-015 • D-050 • D-100 電容式傳感器

亞納米級分辨率位置傳感器

·         適用于具有最高精度要求的應(yīng)用

·         測量范圍達 1000 μm

·         分辨率高達 0.01 nm

·         線性誤差高達 0.01 %，采用數(shù)字控制器

·         E-509.CxA 控制電子元件，兼容 E-500 壓電控制器系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

高精度定位。

分辨率

電容式傳感器可在較短的距離內(nèi)實現(xiàn)皮度計的分辨率。理論測量分辨率是無限的。在實踐中，散射輻射、幾何效應(yīng)和測量電子噪聲會影響可實現(xiàn)的精度。與E-509配合使用。C1A電子元件，D-100.00傳感器的有效噪聲因數(shù)（100μm）為0.02 nm/ÖHz。例如，對應(yīng)于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子元件的跳線可調(diào)帶寬高達3 kHz。

除了此處列出的標準傳感器外，PI還提供定制版本，例如測量，幾何形狀，材料，電子等。

D-510 PISeca 電容式傳感器

具有出色位置分辨率的單電極傳感器

周莉 QQ：2668476640   手機：13390167995 電話：010-64714988-226 傳真：010-64714988-668 郵件：[email protected]

·         非接觸式距離測量

·         絕對位置感應(yīng)

·         振動測量

·         亞納米級分辨率

·         靈活的測量范圍

·         易于集成

電容式位置傳感器實現(xiàn)最高的精度和使用壽命

結(jié)合用于信號處理的電子設(shè)備，對于準靜態(tài)應(yīng)用，可以達到亞納米級的分辨率。對于高動態(tài)應(yīng)用，帶寬可以增加到10 kHz，其中仍然可以達到1 nm范圍內(nèi)的分辨率。線性誤差小于0.1%。

定制版本/雙電極傳感器

除了此處列出的標準傳感器外，PI還提供一系列特定于應(yīng)用的定制版本，例如，測量范圍，幾何形狀或材料都適合客戶要求。還提供定制的電子產(chǎn)品。

D-100 系列中的雙電極傳感器可滿足對線性度和分辨率的最高要求。

易于操作和集成

所有 PISeca 傳感器頭都配有 LEMO 連接器，便于安裝和更換。均勻的軸厚度確保了兼容性和靈活性。用于連接評估電子設(shè)備的電纜有多種型號，因此必須單獨訂購。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)和研究。半導(dǎo)體制造和檢驗。納米計量學(xué)。主動減振器。精密加工。