V-731 精密XY位移平臺 PI高運(yùn)動精度和穩(wěn)定性，磁性直接驅(qū)動器

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高運(yùn)動精度和穩(wěn)定性，磁性直接驅(qū)動器

行程為205毫米×205毫米(8")

速度達(dá)200毫米/秒

可選配步進(jìn)電機(jī)

單向重復(fù)精度達(dá)0.1微米

增量編碼器分辨率為10納米

PIMag®磁力直接驅(qū)動

三相磁性直接驅(qū)動器在動力傳動系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件，其可直接將驅(qū)動力傳輸至運(yùn)動平臺，且無摩擦。驅(qū)動器可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機(jī)非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù)，因?yàn)槠洳粫c永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運(yùn)行，同時，在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅(qū)動力可任意設(shè)定。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。力導(dǎo)向滾動體保持架防止線性導(dǎo)向蠕變。

采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在運(yùn)動平臺上測量實(shí)際位置，因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。

可按需提供其他行程。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)和科研。計量、檢驗(yàn)、工業(yè)顯微鏡學(xué)

訂購信息

V-731.096111 精密XY位移平臺，310 毫米 × 310 毫米寬度 ，205 毫米 × 205 毫米行程，線性電機(jī)，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號周期