vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S探頭用于測(cè)量中晶圓廠化學(xué)品的濃度

vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S探頭

緊湊型折光儀，采用超純改性PTFE流通池主體，適用于半導(dǎo)體液體化學(xué)過(guò)程。通過(guò) 1/4 — 1 英寸的立柱或擴(kuò)口接頭連接

到工藝。

vaisala K-PATENTS® 半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S 可監(jiān)測(cè)潔凈室環(huán)境和集成工藝工具（混合、清潔、蝕刻和 CMP）中晶

圓廠化學(xué)品的濃度。

設(shè)計(jì)

PR-33-S 由一個(gè)超純的改性 PTFE 流通池主體和一根以太網(wǎng)電纜組成，任何標(biāo)準(zhǔn) PoE（以太網(wǎng)供電）交換機(jī)都可以使用

該電纜將電力傳輸?shù)絺鞲衅鞑?shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)。PR-33-S 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)化學(xué)品濃度，并在化學(xué)品超出規(guī)格時(shí)提供以太網(wǎng)

輸出信號(hào)和即時(shí)反饋。例如，可以配置低濃度和高濃度警報(bào)來(lái)控制和延長(zhǎng)浴槽壽命。濃度是通過(guò)對(duì)溶液的折射率nD和

溫度進(jìn)行光學(xué)測(cè)量來(lái)確定的。

PR-33-S 直接與喇叭口或支柱配件在線安裝。PR-33-S 結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，占用空間很小。

關(guān)鍵要素

N.I.S.T. 可溯源校準(zhǔn)，使用標(biāo)準(zhǔn) RI 液體進(jìn)行驗(yàn)證，并經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的程序。

獲得CORE光學(xué)器件（美國(guó)號(hào)）US6067151）。

通過(guò)以太網(wǎng)的遠(yuǎn)程面板，用于數(shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程操作。

通信由標(biāo)準(zhǔn) UDP/IP 協(xié)議構(gòu)建。

過(guò)程溫度范圍：-20°C – 85°C （-4°F – 185°F）。

通過(guò)內(nèi)置 Pt1000 和自動(dòng)數(shù)字溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)快速過(guò)程溫度測(cè)量。

主要優(yōu)勢(shì)

全數(shù)字化設(shè)備

vaisala  K-PATENTS® 半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S 用于過(guò)程控制和監(jiān)測(cè)，并提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號(hào)。設(shè)計(jì)緊湊，

設(shè)備直接在線安裝。

在整個(gè)范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確穩(wěn)定的測(cè)量

折射率 nD 1.3200–1.5300 的全測(cè)量范圍，相當(dāng)于 0-100% 重量?？蛇x范圍 nD 1.2600–1.4700 用于強(qiáng) HF。 

典型精度 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（重量），例如水中的 HCl。

測(cè)量不受 PPM 范圍內(nèi)的顆粒、氣泡、湍流或雜質(zhì)的影響。

易于維護(hù)

無(wú)漂移。無(wú)需重新校準(zhǔn)。無(wú)需機(jī)械調(diào)整。

技術(shù)數(shù)據(jù)

折射率范圍 1.3200...1.5300

準(zhǔn)確度 ± 0.1%

響應(yīng)時(shí)間 1s

工藝溫度 -20°C (-4°F)...85°C (185°F) 

環(huán)境溫度：-20°C (-4°F)...45°C (113°F)

保護(hù)等級(jí) IP67

重量 1.2 kg 

消耗功率  1W

vaisala半導(dǎo)體折光儀 PR-33-S探頭