德國(guó)XITON激光器EXCITE-1064技術(shù)指導(dǎo)
王子豪
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EXCITE是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于紫外應(yīng)用，如晶圓檢測(cè)、光譜儀校準(zhǔn)和干涉測(cè)量應(yīng)用。小于30MHz的頻譜帶寬接近其理論傅立葉極限。
激光器在M²<1.6的衍射極限光束中提供短時(shí)間脈沖，重復(fù)率在1到30kHz之間。平均輸出功率在266nm時(shí)超過(guò)150mW，或在355nm時(shí)超過(guò)500mW，在堅(jiān)固的工業(yè)設(shè)計(jì)中具有超穩(wěn)定的脈沖軌跡和超過(guò)4m的長(zhǎng)相干長(zhǎng)度。
XITON EXCITE1064
波長(zhǎng)：1064nm
平均功率：6W
脈沖持續(xù)時(shí)間：20-30ns
每脈沖能量：400µJ
重復(fù)頻率：1-30kHz
平方米：<1.2
頻譜帶寬：<30MHz
相干長(zhǎng)度：>5m
脈沖到脈沖刺：σ<0.3%
德國(guó)XITON激光器EXCITE-1064技術(shù)指導(dǎo)
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