德國PI Q-Motion®壓電位移臺內(nèi)置了最小的6自由度運動設(shè)備,也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。
使用的運動設(shè)計取決于應(yīng)用中單個軸上運動的重要性。經(jīng)典的平行運動六腳架設(shè)計可實現(xiàn)最佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對較大的線性運動時,最好采用薄型設(shè)計。
最好使用采用PI的專利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。
德國PI 微型六足動物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架:快速,緊湊,高精度
德國PI 微型六足動物H-811.F2 6軸微型六腳架:光纖對準(zhǔn)的理想選擇
德國PI H-811.S2 6軸運動六腳架:快速而緊湊的高動態(tài)應(yīng)用
德國PI H-810 6軸微型六腳架:最小空間內(nèi)的高精度
德國PI P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架:即使在強磁場中也能進行高精度定位

德國PI 5.PI 微型線性平臺
德國PI 線性壓電撓性位移臺
訂購信息
N-565.160
精密線性定位平臺,行程為13毫米,PIOne線性編碼器,分辨率為0.5納米,驅(qū)動力為10牛,尺寸為65 × 80 ×
20毫米(寬 × 長 × 高),NEXACT壓電步進驅(qū)動器
N-565.260
精密線性定位平臺,行程為26毫米,PIOne線性編碼器,分辨率為0.5納米,驅(qū)動力為10牛,尺寸為65 × 110 ×
20毫米(寬 × 長 × 高),NEXACT壓電步進驅(qū)動器
N-565.360
精密線性定位平臺,行程為52毫米,PIOne線性編碼器,分辨率為0.5納米,驅(qū)動力為10牛,尺寸為65 × 160 ×
20毫米(寬 × 長 × 高),NEXACT壓電步進驅(qū)動器
PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量,微觀過程,干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。
型號介紹:
壓電撓性線性平臺
德國PI P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng):1軸大孔徑
德國PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺:動態(tài)穩(wěn)定
德國PI P-752高精度納米定位臺:高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀,具有極其精確德國PI的引導(dǎo)
德國PI P-750壓電納米定位系統(tǒng):具有直接計量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)
德國PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng):廉價,緊湊的線性定位系統(tǒng)
德國PI P-712線性壓電掃描儀:緊湊型OEM系統(tǒng)
德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器:可變行程范圍和軸配置
德國PI壓電撓性垂直平臺
德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器:可變行程范圍和軸配置
德國PI S-303壓電移相器:高動態(tài),納米級精密壓電移相器
德國PI P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀:直接位置測量和通光孔徑
德國PI P-612.Z壓電Z舞臺:帶孔的緊湊型納米定位器
德國PI P-611.Z壓電Z舞臺:緊湊型納米定位器
特色定制
德國PI PI P-725KHDS
德國PI P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀:重型物鏡的納米分辨率