德國(guó)Physik Instrumente P-733.3 XYZ壓電納米定位器用于掃描顯微鏡

PI是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。

PI不僅針對(duì)線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器。PI還使這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用，或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

二、Physik Instrumente產(chǎn)品用途

在許多應(yīng)用領(lǐng)域中必須達(dá)到最大定位精度。半導(dǎo)體制造，顯微鏡，表面測(cè)量技術(shù)，生物技術(shù)，醫(yī)學(xué)工程和自動(dòng)化技術(shù)通常需要具有納米級(jí)分辨率和可重復(fù)性的定位系統(tǒng)。除此之外，還要求響應(yīng)時(shí)間短，真空兼容的設(shè)計(jì)和在寬溫度范圍內(nèi)的功能。

三、Physik Instrumente產(chǎn)品分類

Physik Instrumente納米定位壓電彎曲平臺(tái)

Physik Instrumente微型舞臺(tái)

Physik Instrumente線性平臺(tái)

Physik Instrumente線性執(zhí)行器

Physik Instrumente旋轉(zhuǎn)臺(tái)

Physik Instrumentexy平臺(tái)

四、Physik Instrumente產(chǎn)品型號(hào)；

Physik Instrumente  L-505.021212F

Physik Instrumente  L-505.AP1

Physik Instrumente G-901.R3197

Physik Instrumente P-734.2CL

Physik Instrumente E-501,00  

Physik Instrumente E-503,00  

Physik Instrumente E-509,C3A,

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente L-611.90AD

Physik Instrumente P-563.3CD

Physik Instrumente E-727.3CD

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente E-727.3CDAP

Physik Instrumente C-887.522

Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:

Physik Instrumente U-780.DLS

Physik Instrumente N-565.160

Physik Instrumente N-565.260
四、產(chǎn)品介紹

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

高精度XYZ光圈掃描儀

X，Y的行程范圍為100 µm×100 µm，Z的行程范圍為10 µm

電容式傳感器的分辨率可達(dá)0.1 nm

直接驅(qū)動(dòng)的高速版本

可根據(jù)要求提供超高真空兼容和非磁性版本

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)可實(shí)現(xiàn)更高的精度和動(dòng)力學(xué)

并行計(jì)量，可主動(dòng)補(bǔ)償導(dǎo)向誤差

零間隙，高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)

透明孔徑50 mm×50 mm，用于透射光應(yīng)用

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩膜/晶圓定位

表面測(cè)量技術(shù)

納米壓印

顯微操作