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Physik Instrumente (PI) P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)

特征：

·         緊湊：60毫米x60毫米表面

- 100 µm x 100 µm 閉式控制環(huán)路中的行程范圍 (130 µm x 130 µm, 開式控制環(huán)路)

- 對(duì)于成本關(guān)鍵型應(yīng)用

- 鏡頭罩20毫米x20毫米

- 平行運(yùn)動(dòng)學(xué)可實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的多軸精度。

- PICMA®壓電執(zhí)行器，壽命長(zhǎng)。

- 也有精簡(jiǎn)版

適用領(lǐng)域：

- 掃描顯微鏡

- 高通量顯微鏡

- 超分辨率顯微鏡

- 掩膜/晶圓定位

- 干涉儀

- 測(cè)量技術(shù)

- 生物技術(shù)

- 顯微手術(shù)

PICMA®壓電執(zhí)行器，壽命長(zhǎng)。

獲得專利的壓電式PICMA®執(zhí)行器是完全陶瓷絕緣的。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。沒有被證實(shí)一次失敗的1000億次循環(huán)。