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Physik Instrumente (PI) XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器

產(chǎn)品描述：

- X、Y行程范圍為100 µm×100 µm，Z行程范圍為10 µm。

- 分辨率高達(dá)0.1 nm的電容式傳感器。

- 直接驅(qū)動(dòng)的高速版本

- 超高真空兼容和非磁性版本

- 并行運(yùn)動(dòng)學(xué)，以獲得更高的精度和動(dòng)態(tài)性能。

- 主動(dòng)補(bǔ)償導(dǎo)向誤差的并行測量。

- 無間隙、高精度偏轉(zhuǎn)導(dǎo)向系統(tǒng)

- 透明孔徑50毫米x50毫米，適用于透射光應(yīng)用。

應(yīng)用

- 掃描顯微鏡

- 共聚焦顯微鏡

- 掩膜/晶圓定位

- 表面計(jì)量學(xué)

- 納米壓印

- 顯微手術(shù)

- 圖像處理/穩(wěn)定化

- 具有高平直度的納米定位運(yùn)動(dòng)

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行非接觸式測量。它們保證了卓越的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速元件交換

機(jī)械師和控制器可以任意組合，可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器開啟時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有元件都非常適合在真空中使用。操作時(shí)不需要潤滑劑或潤滑脂。不含聚合物的壓電系統(tǒng)允許非常低的放氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器使用壽命長。

獲得專利的壓電式PICMA®執(zhí)行器是完全陶瓷絕緣的。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。沒有被證實(shí)的1000億次的單次故障。

無間隙的導(dǎo)正器，實(shí)現(xiàn)了高導(dǎo)正精度。

柔性導(dǎo)軌是免維護(hù)、免摩擦、免磨損的，不需要潤滑。其剛度使其具有較高的負(fù)載能力，對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們100%與真空兼容，可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度。

所有的自由度都與一個(gè)固定的基準(zhǔn)有關(guān)。與其他軸之間不必要的運(yùn)動(dòng)串?dāng)_（主動(dòng)引導(dǎo)）可以實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）。在動(dòng)態(tài)操作中，還可以實(shí)現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高跟蹤精度。