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德國(guó)PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器PI XY位移平臺(tái)

特點(diǎn)：

·         緊湊：44毫米x44毫米表面

- 行程范圍為120 µm x 120 µm。

- 分辨率達(dá)0.2納米

- 極為廉價(jià)的系統(tǒng)(機(jī)械和控制系統(tǒng))

- 無(wú)間隙、高精度偏轉(zhuǎn)導(dǎo)向系統(tǒng)

- PICMA®壓電執(zhí)行器，壽命長(zhǎng)。

- 也可提供直線型、Z型鋼和XYZ型。

應(yīng)用領(lǐng)域

- 干涉儀(物理學(xué))

- 顯微鏡

- 納米定位

- 生物技術(shù)

- 測(cè)試程序和質(zhì)量保證

- 光子學(xué)

- 光學(xué)定位

- 半導(dǎo)體技術(shù)

導(dǎo)向精度高的無(wú)背隙撓曲導(dǎo)向器

柔性導(dǎo)軌是免維護(hù)、免摩擦、免磨損的，不需要潤(rùn)滑。其剛度使其具有較高的負(fù)載能力，對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們100%與真空兼容，可在較寬的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)

獲得專利的壓電式PICMA®執(zhí)行器是完全陶瓷絕緣的。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。沒(méi)有被證實(shí)一次失敗的1000億次循環(huán)。