Mlase MLI 準(zhǔn)分子激光MLI-1000 Arf高可靠性

Mlase MLI-200 / 500 / 1000 準(zhǔn)分子激光

MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 系列準(zhǔn)分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脈沖能量高達(dá) 16 mJ，重復(fù)頻率高達(dá) 1，000 Hz

市場(chǎng)上具有最高刀具壽命和可靠性以及低擁有成本的獨(dú)立設(shè)備。由于光束輪廓均勻，能量穩(wěn)定，適用于要求苛刻的應(yīng)用。

后綴為LC的準(zhǔn)分子激光器還可以選擇主動(dòng)水冷（通過家用水或外部熱交換器;無去離子水），以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行。

Mlase MLI 準(zhǔn)分子激光MLI-1000 Arf主要功能

剛性設(shè)計(jì)

電暈預(yù)電離

固態(tài)電路

卡套管技術(shù)

能量監(jiān)測(cè)器

緊湊型準(zhǔn)分子激光，單相

Mlase MLI 準(zhǔn)分子激光MLI-1000 Arf優(yōu)勢(shì)

高可靠性

均勻梁剖面

即時(shí)可用，無老化

全金屬密封管

數(shù)十億脈沖的延長壽命

能量穩(wěn)定

易于操作，易于集成

Mlase MLI-1000 Arf準(zhǔn)分子激光參數(shù)

波長（nm）193 

最大重復(fù)頻率（Hz）1000

穩(wěn)定脈沖能量（mJ）6 

穩(wěn)定脈沖功率（W）6.0

能量穩(wěn)定性（西格瑪，%）2 

光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3

光束發(fā)散度（FWHM，V x H mrad）2x1 

脈沖持續(xù)時(shí)間（FWHM）（ns）5-10 

重量kg 75

冷卻 空氣

電源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大

尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445