德國(guó)SPS(POLOS)旋涂機(jī) SPIN150i用于厚度低于 10 nm薄膜

旋涂機(jī)主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均勻高質(zhì)量厚度的薄膜。通常，您在半導(dǎo)體晶圓上旋轉(zhuǎn)涂光刻膠，但我們的POLOS旋涂機(jī)也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作為低成本的溶膠-凝膠方法，例如旋涂ZnO薄膜。同時(shí)，POLOS旋涂機(jī)提供無(wú)限的工藝：在觸摸屏上輕松直觀的編程，無(wú)限的程序/步驟和圖形表示。以及可重復(fù)的旋涂工藝，一次又一次。這使得POLOS旋涂機(jī)成為您可以買(mǎi)到的最好的實(shí)驗(yàn)室旋涂機(jī)

 

二、SPS(POLOS)型號(hào)介紹

Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

Part nr: 27852 

Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  

 

二、SPS(POLOS)產(chǎn)品分類(lèi)

SPS(POLOS) 旋涂機(jī)

易于安裝、可重復(fù)的旋涂

 

SPS(POLOS)無(wú)掩模光刻

最高精度的納米結(jié)構(gòu)

 

SPS(POLOS)面罩矯正器

高產(chǎn)值和用戶(hù)友好

 

SPS(POLOS)電爐

精確的溫度控制

 

電影表征

超快速和準(zhǔn)確的晶圓映射

光刻膠

適用于永久性應(yīng)用

噴涂機(jī)

高精度納米顆粒涂層

 

晶圓處理

安全運(yùn)輸和儲(chǔ)存您的晶圓

 

補(bǔ)充設(shè)備

您可能需要的其他工具

三、SPS(POLOS)產(chǎn)品介紹

1、SPS(POLOS)旋涂

POLOS旋涂機(jī)提供無(wú)限的工藝：通過(guò)大型彩色觸摸屏控制器進(jìn)行簡(jiǎn)單的分步配方編程，USB連接或從您自己的PC下載，無(wú)限的程序/步驟和圖形表示。它們還提供可重復(fù)的旋涂工藝，一次又一次?？勺鳛閱闻_(tái)臺(tái)式晶圓旋涂機(jī)提供，但我們也提供全系列濕站解決方案。聯(lián)系我們獲取更多信息！

型號(hào)介紹：

旋涂機(jī)

150 毫米

200 毫米

300 毫米

450 毫米

>500 毫米