德國(guó)Physik壓電P-611.3 納米立方體XYZ系統(tǒng)多軸壓電系統(tǒng)

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Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米級(jí)精度進(jìn)行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉(zhuǎn)方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設(shè)計(jì)，有許多變體可供選擇。

Physik XYZ 掃描儀是定位技術(shù)的通用工作臺(tái)。它們的應(yīng)用包括樣品定位、光學(xué)計(jì)量、光纖定位和光子學(xué)或原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均經(jīng)過(guò)工廠測(cè)試，并帶有測(cè)量協(xié)議的預(yù)設(shè)交付。

P-611.3 納米立方體XYZ系統(tǒng)®

緊湊型多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖調(diào)整

XYZ 帶光圈的 Piezotic

行程可達(dá) 120 μm × 120 μm × 120 μm

超緊湊：44 mm × 44 mm × 44 mm

分辨率高達(dá) 0.2 nm

快速響應(yīng)

無(wú)間隙和高精度固態(tài)導(dǎo)軌

通過(guò)PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)的使用壽命

用于快速掃描

帶集成光纖支架的版本

特別具有成本效益的系統(tǒng)

應(yīng)用

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操作

生物工藝學(xué)

半導(dǎo)體測(cè)試

光纖定位

通過(guò)無(wú)間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)向精度

固態(tài)接頭導(dǎo)軌無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對(duì)沖擊載荷和振動(dòng)不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行。

PICMA 壓電陶瓷促動(dòng)器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動(dòng)器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動(dòng)器的十倍。經(jīng)過(guò) 100 億次循環(huán)驗(yàn)證，無(wú)一次故障。

P-611.3S

P-611.3SF

P-611.3O

P-611.3OF