德國PI L-738 精密XY位移平臺

L-738 精密XY位移平臺

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產(chǎn)品優(yōu)勢：
?行程為102毫米×102毫米(4")
?大孔徑，150毫米×150毫米
?單向重復(fù)精度達(dá)0.05微米
?速度達(dá)90毫米/秒
?兩相步進(jìn)電機(jī)，直流–電機(jī)
?增量線性編碼器分辨率為1納米


產(chǎn)品參數(shù)：
主動(dòng)軸 X, Y
行程 102 × 102 毫米
角度誤差xry（螺距） ±40 微弧度
角度誤差xrz（偏轉(zhuǎn)角） ±20 微弧度
角度誤差yrx（螺距） ±40 微弧度
角度誤差yrz（偏轉(zhuǎn)角） ±20 微弧度
直線度/平面度 ±2 微米
正交性 ±96.963 微弧度
速度：
L-738.053111 / L-738.053112：50
L-738.053132：90
負(fù)載容量 200
工作電壓，標(biāo)稱值 24 伏
工作電壓，最大值 48伏
X向上的移動(dòng)質(zhì)量，14.6
Y向上的移動(dòng)質(zhì)量， 5.8


產(chǎn)品型號：
L-738.051100
L-738.051111
L-738.051112
L-738.05313



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德國PI L-738 精密XY位移平臺