德國Physik Instrumente （PI）緊湊型線性平臺

&&M-110•M-111•M-112 V6緊湊型線性平臺，適用于真空

XY（Z）組合與直流齒輪電動機和各種行程范圍變體

M-110•M-111•M-112 V6緊湊型線性平臺，適用于真空

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適用于高達10-6 hPa的真空

折疊式驅(qū)動器非常緊湊

閉環(huán)直流電動機

行程范圍：5、15和25毫米

非接觸式參考和限位開關(guān)

XY設(shè)置可以直接安裝

緊湊型線性平臺，用途廣泛

線性平臺具有緊湊的尺寸，歸因于帶皮帶驅(qū)動的折疊驅(qū)動。直徑為10毫米的透明孔。XY設(shè)置可以直接安裝而無需轉(zhuǎn)接板。

 

駕駛

閉環(huán)直流減速電機

背隙補償絲杠

應(yīng)用領(lǐng)域

真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。

 

減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用

最顯著的是，為了潤滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改，該定位器的使用時間可達10 -6  hPa。

 

位置測量

電機軸上的旋轉(zhuǎn)編碼器

非接觸霍爾效應(yīng)參考和限位開關(guān)

 

 

&&L-611 V6•V7•V9適用于真空的精密旋轉(zhuǎn)平臺

高行程精度

L-611 V6•V7•V9適用于真空的精密旋轉(zhuǎn)平臺

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適用于高達10-9 hPa的真空

無限旅行范圍

極高分辨率

步進電機

方向感應(yīng)參考開關(guān)

可以進行多軸設(shè)置

參考級旋轉(zhuǎn)臺

由于預(yù)載蝸輪蝸桿傳動裝置的游隙小，因此可以實現(xiàn)高精度定位。預(yù)裝的樞軸軸承可實現(xiàn)較高的行程精度。Ø35毫米的透明孔。雙向旋轉(zhuǎn)的行程范圍不受限制。參考開關(guān)。

 

高真空應(yīng)用的更高質(zhì)量

在這種情況下，將使用適合于高真空的特殊組件，例如電動機，測量系統(tǒng)和限位開關(guān)。此外，表面由無涂層的鋁制成，驅(qū)動螺釘和導(dǎo)軌由不銹鋼制成。這樣，達到了PI V7真空等級，這意味著高達10 -7  hPa。

 

選件：行程精度和定位精度的測量

可根據(jù)要求提供單獨的測量記錄，以用于擺動，軸向和徑向蠕變。訂購時請注明。

 

減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用

最顯著的是，為了潤滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改，該定位器的使用時間可達10 -6  hPa。

 

質(zhì)量滿足超高真空的特殊要求

在此真空等級中，由于適用于超高真空的組件，產(chǎn)品在所有細節(jié)上均得到了優(yōu)化，以達到10 -9  hPa的PI V9真空等級。除其他事項外，為此僅使用選定類型的塑料，烘烤溫度為120°C（帶測量系統(tǒng)）或150°C（不帶測量系統(tǒng)）。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。

 

 

德國PI精密Z工作臺

&&L-310 V6精密Z工作臺，適用于真空

可與線性和旋轉(zhuǎn)平臺緊湊地組合

L-310 V6精密Z工作臺，適用于真空

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適用于高達10-6 hPa的真空

行程范圍26毫米（1英寸）

高分辨率編碼器

步進電機

零間隙滾珠絲杠

承重達5.5公斤

精密級Z載物臺

滾珠絲杠和交叉滾子導(dǎo)軌可實現(xiàn)較高的導(dǎo)向精度和剛度。減輕應(yīng)力的鋁制底座，具有的穩(wěn)定性。2相步進電機即使在低速和高分辨率時也可提供高扭矩，非接觸式限位和參考開關(guān)（霍爾效應(yīng)）。在行程范圍中間帶有方向感應(yīng)的參考開關(guān)。集成線性編碼器，安裝在中心。

 

減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用

最顯著的是，為了潤滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改，該定位器的使用時間可達10 -6  hPa。

 

使用增量線性編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。