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具有孔徑的高精度XYZ掃描儀
X和Y向上的行程達100微米 × 100微米,Z向上的行程達10微米
帶直接驅(qū)動器的高速版本
并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)
零間隙,高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)
電容式傳感器使分辨率達0.1納米
超高真空兼容和非磁性版本
導向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃?span lang="EN-US">
50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用
· 掃描顯微鏡
· 共聚焦顯微鏡
· 掩模/晶圓定位
· 表面測量技術(shù)
· 納米壓印
· 顯微操縱
· 圖像處理/穩(wěn)定
· 高運動平面度和直線度的納米定位
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時,數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù)。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。
專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償(取決于帶寬)(主動導向)。即使在動態(tài)操作中,跟蹤精度也可高達納米級。
訂購信息
直驅(qū)版本
P-733.3DD
高動態(tài),高精度XYZ納米定位系統(tǒng),30 µm×30 µm×10 µm,直接驅(qū)動,電容傳感器,并聯(lián)
計量,D-sub連接器
帶有D-sub連接器的版本(m)
P-733.3CD
精密XYZ納米定位系統(tǒng),100 µm×100 µm×10 µm,電容傳感器,并行計量,D-sub連接器
帶有LEMO連接器的版本
P-733.3CL
精密XYZ納米定位系統(tǒng),100 µm×100 µm×10 µm,電容傳感器,并行計量,LEMO連接器
真空兼容版本達10-6 hPa
P-733.3VD
精密XYZ納米定位系統(tǒng),100 µm×100 µm×10 µm,電容傳感器,并行計量,D-sub連接器,
真空兼容10-6 hPa
工作日
9:00-18:00
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