P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)

六自由度高精度納米定位系統(tǒng)

楊文輝 QQ：2850590598   手機(jī)：18301216381 電話：010-64717020-118 傳真：010-84786709-666 郵件：[email protected]

§ 6個(gè)運(yùn)動(dòng)軸：3個(gè)為線性，3個(gè)為旋轉(zhuǎn)

§ 行程達(dá)200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         生物技術(shù)

·         掩模/晶圓定位

·         樣本定位

·         干涉測(cè)量

·         計(jì)量

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

訂購信息

P-562.6CD PIMars6軸納米定位系統(tǒng)，200微米，1毫弧度，平行計(jì)量

可按需提供其他行程。

P-587 六軸精密壓電平臺(tái)

長(zhǎng)行程，直接位置測(cè)量

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 最大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 六 自由度主動(dòng)補(bǔ)償

應(yīng)用領(lǐng)域

·         干涉測(cè)量

·         計(jì)量

·         納米壓印

·         半導(dǎo)體測(cè)試

·         半導(dǎo)體制造

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測(cè)量帶來最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

訂購信息

P-587.6CD

帶長(zhǎng)行程的六軸納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行計(jì)量，電容傳感器