法國(guó)acxys涂層 UL系列
acxys UL涂層
acxys ULCoat 使用在放電后階段將前體注入等離子體中以在目標(biāo)表面上沉積薄層。
ULCoat 的特點(diǎn)是一個(gè)噴霧系統(tǒng)，需要在等離子噴嘴下注射前體。ULCoat 設(shè)備必須連接到 ULS OMEGA。
標(biāo)準(zhǔn)單元設(shè)計(jì)用于沉積具有金屬有機(jī)前體的 SiOx。但是，可以根據(jù)要求開發(fā)其他配方。
在 AcXys Technologies，我們可以滿足您的特定要求：與我們的實(shí)驗(yàn)室合作開發(fā)您的定制解決方案——這就是研發(fā)合同的目的。
ULCoat 可作為獨(dú)立設(shè)備或OEM 使用。
ULCoat 技術(shù)
– 耦合到 ULS OMEGA 模塊
– 用于薄層沉積
– 厚度從 50 到 1000 納米可調(diào)
– 厚度均勻，偏差 +/- 2%
– 處理速度高達(dá) 200 nm.cm2 / s
– 標(biāo)準(zhǔn)版本最適合 SiOx 沉積物
噴嘴
在注入等離子體之前監(jiān)測(cè)前體流動(dòng)。該模塊集成了以下元素：
– 前驅(qū)罐
– 前體流量控制
– 氣體流量控制
– 加熱組件（可選）
直觀的數(shù)字界面觸摸屏
– 嵌入式觸摸屏（如果是 OEM，則為遠(yuǎn)程）
– 直觀的控制
– 多語言界面
– 錯(cuò)誤檢測(cè)和故障排除
– 實(shí)時(shí)顯示指令
兼容氣體
- 空氣
- 氮
– 其他氣體混合物
ULCoat 的優(yōu)勢(shì)
- 低溫
– 厚度均勻，變化 2%
– 其他存款可能會(huì)被整合
– OpenFlow 版本可用于開發(fā)新的存款流程
郭秀
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