PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數(shù)

P-363 筆克管 XY (Z) 皮佐掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位器

· 用于自動(dòng)對(duì)焦 /SPM 的超高性能閉環(huán)掃描儀

· 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操作工具

· 共振頻率 9.8 kHz，PI動(dòng)態(tài)納米定位器吳亞男用于特別快速的掃描

· 引導(dǎo)誤差自動(dòng)補(bǔ)償?shù)牟⑿袦y(cè)量技術(shù)

· 分辨率 50 象形儀

· 旅行范圍 5 μm × 5 μm × 5 μm

 

 

	P-363.3CD	P-363.2CD	單位	浮動(dòng)值
活動(dòng)軸	X、Y、Z	X， Y
運(yùn)動(dòng)和定位
集成傳感器	電容的	電容的
旅行范圍在 X， Y 在 -250 到 +250 V， 打開(kāi)循環(huán)	±3	±3	μm	20%
Z 中的旅行范圍為 -250 至 +250 V，打開(kāi)環(huán)路	±2.7	-	μm	20%
X、Y、閉環(huán)旅行范圍	±2.5	±2.5	μm
Z 中的旅行范圍，閉環(huán)	±2.5	-	μm
分辨率，打開(kāi)循環(huán)*	0.03	0.03	納米	泰普
分辨率，閉環(huán)	0.1	0.1	納米
線性錯(cuò)誤	0.05	0.05	%	泰普
可重復(fù)性**	1	1	納米	泰普
投/偏航在X，Y	0.5	0.5	烏拉德	泰普
以 Z 中運(yùn)動(dòng)傾斜	0.2	-	烏拉德	泰普
X、Y中的直度	3	3	納米	泰普
X、Y中的平整度	•lt：10	•lt：10	納米	泰普
Z中運(yùn)動(dòng)的相聲	5	-	納米	泰普
機(jī)械特性
X，Y中的共振頻率，卸載	3.1	4.2	千 赫	±20%
Z中的共振頻率，卸載	9.8	-	千 赫	±20%
X、Y負(fù)載下的共振頻率	1.5 （20 克）	2.1 （20 克）	千 赫	±20%
負(fù)載容量	10	10	N	max
陶瓷類型	皮卡， 皮卡剪	皮卡剪切
雜項(xiàng)
工作溫度范圍	-20 至 80	-20 至 80	°C
材料	鈦	鈦
尺寸	30 毫米× 30 毫米× 40 毫米	30 毫米× 30 毫米× 28 毫米
質(zhì)量	225	190	g	±5%
電纜長(zhǎng)度	1.5	1.5	m	±10毫米
傳感器/電壓連接器	D-子 24W7 （m）	D-子 24W7 （m）
推薦電子產(chǎn)品	E-536	E-536

 

應(yīng)用范圍

· 掃描探針顯微鏡

· 原子力顯微鏡

· 掃描和篩選

由于零播放彈性指南，指導(dǎo)精度高

Flexure 指南不含維護(hù)、摩擦和磨損，不需要潤(rùn)滑。PI動(dòng)態(tài)納米定位器吳亞男 它們的剛度允許高負(fù)載容量，并且對(duì)沖擊和振動(dòng)麻木不仁。它們 100% 真空兼容，在寬溫范圍內(nèi)工作。

由于平行位置測(cè)量，納米范圍內(nèi)的跟蹤精度很高

所有自由度都是用一個(gè)固定的參考來(lái)衡量的。PI動(dòng)態(tài)納米177定1858位3804器軸之間不受歡迎的相聲可以實(shí)時(shí)(取決于帶寬)得到積極補(bǔ)償(主動(dòng)引導(dǎo))。即使在動(dòng)態(tài)操作中，納米范圍內(nèi)也會(huì)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

帶電容傳感器的子納米分辨率

電容式傳感器在不接觸的情況下使用亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了 kHz 范圍內(nèi)出色的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和帶寬。

自動(dòng)配置和快速組件交換

力學(xué)和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速交換。PI動(dòng)態(tài)納米177定1858位3804器 所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在力學(xué) D 子連接器的 ID 芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

 

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