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帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉(zhuǎn)平臺

無摩擦，電動

A-63x

?200毫米或300毫米運動平臺直徑

?薄型，60毫米

?偏心和平整度<100 nm

?靜止時可以通過磁性預(yù)載自鎖

產(chǎn)品總覽

PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)平臺采用薄型設(shè)計，可實現(xiàn)最高的精度。

可以組合各種選項來創(chuàng)建理想的解決方案，以實現(xiàn)點對點索引或恒速掃描。

RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。

三相扭矩電動機

?無刷

?無插槽

?低齒槽轉(zhuǎn)矩

絕對編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。 這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。

配件和選件

?增量或絕對編碼器

?真空穿通

?在靜止?fàn)顟B(tài)下通過電磁預(yù)載自鎖

?PIglide過濾器和空氣制備套件

?單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器

?多軸/定制設(shè)計

?由花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)對準(zhǔn)，晶片檢查，晶片對準(zhǔn)，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide工作臺非常適合無塵室應(yīng)用。

訂購信息：

A-635.A100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，200 mm運動平臺直徑，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng)，31488線/轉(zhuǎn)，無槽，無刷三相扭矩電動機

A-635.B100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，200 mm運動平臺直徑，低高度，帶BiSS-C信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動機

A-637.A100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，運動平臺直徑300 mm，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng)，47200線/轉(zhuǎn)，無槽，無刷三相扭矩電動機

A-637.B100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，運動平臺直徑300 mm，低高度，帶BiSS-C信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動機

德國PI公司是精密運動和定位領(lǐng)域的全球解決供應(yīng)商。

PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品系列：

納米定位壓電柔性鉸鏈平臺、微型平臺、線性平臺、線性促動器、旋轉(zhuǎn)臺、XY位移平臺、六足位移臺、快速多通道光子學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)

、運動控制軟件

應(yīng)用范圍：

汽車、科學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體技術(shù)、顯微鏡、硅光子、醫(yī)療技術(shù)、材料研究、機械工程、自動化、高能束線設(shè)備、增材制造