Micro-Epsilon位移傳感器技術參數(shù)詳解

　　劉洋

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　　Micro-Epsilon位移傳感器capaNCDT 6500

　　納米多通道系統(tǒng)

　　電容式位移傳感器專為要求極高精度的測量任務而設計。capaNCDT 6500電容式多通道系統(tǒng)非常適合低至亞納米分辨率的可靠測量。該控制器的最大響應速率為7.8kHz(數(shù)字，最多四個通道)，頻率響應為8.5kHz。除模擬輸出外，還提供EtherCAT(R)接口。EtherCAT具有高速集成到現(xiàn)有測量環(huán)境和兩個系統(tǒng)同步的特性，從而可以實時準確地傳輸數(shù)據(jù)。使用網(wǎng)絡瀏覽器可輕松進行capaNCDT 6500系統(tǒng)的設置和配置。

　　特點

　　測量范圍(毫米)：

　　0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10

　　最大分辨率 0.0375納米

　　最大線性 0.01微米

　　頻率限制8.5kHz(-3dB)

　　數(shù)據(jù)速率(數(shù)字輸出)7.8kHz

　　模擬輸出(電壓/電流)

　　以太網(wǎng)，EtherCAT

　　模塊化–多達8個通道

　　外部或內部前置放大器

　　通過Web界面進行用戶友好的設置和配置

　　最高分辨率

　　capaNCDT 6500系統(tǒng)設計用于需要亞納米分辨率的測量任務。在半導體行業(yè)和實驗室應用中的定位任務中，其優(yōu)勢尤其得到了證明。模塊化capaNCDT 6500專為多通道應用而設計。最多可通過前置放大器將八個傳感器連接到信號調節(jié)電子設備。

　　通過網(wǎng)絡界面易于使用

　　由于用戶友好的Web界面，無需使用任何其他軟件即可執(zhí)行控制器和傳感器的整個配置過程?？赏ㄟ^以太網(wǎng)訪問Web界面，并為過濾器，算術鏈接和其他有用的參數(shù)(例如觸發(fā)，測量值存儲和線性化)提供設置和配置選項。

　　Micro-Epsilon型號示例：

　　Micro-Epsilon ODC 1200

　　Micro-Epsilon ODC 1200漢90

　　Micro-Epsilon ODC1200-2

　　Micro-Epsilon ODC1200-5

　　Micro-Epsilon ODC1200達10

　　Micro-Epsilon ODC1200森16

　　Micro-Epsilon ODC1201漢20

　　Micro-Epsilon ODC1201達30

　　Micro-Epsilon WPS-3000-MK120-CR-P

　　Micro-Epsilon WPS-750-MK30-P25

　　Micro-Epsilon DT3001-U4-M-C3

　　Micro-Epsilon ILD2300森20

　　Micro-Epsilon PC2300漢3/SUB-D

　　Micro-Epsilon PC2300達0,5Y

　　Micro-Epsilon WPS-750-MK30-P10

　　Micro-Epsilon CAB-M12-4P-

　　Micro-Epsilon WDS-300-P60-CR-P

　　Micro-Epsilon PC140-6

　　Micro-Epsilon WDS-2500-Z100-CA-P

　　Micro-Epsilon WDS-1500-P60-CR-P

　　MICRO-EPSILON 1LR1181漢30(13)傳感器

　　MICRO-EPSILON optoNCDT達2300

　　MICRO-EPSILON 0501森55-17

　　MICRO-EPSILON DT IFC2451傳感器

　　MICRO-EPSILON IFS2403漢0,4傳感器

　　MICRO-EPSILON ODC1201漢30

　　MICRO-EPSILON DTA-25D達3-CA-W

　　MICRO-EPSILON PC1700森10

　　MICRO-EPSILON ILD1700漢40全部

　　MICRO-EPSILON ILD1700達200 PC1700森10 10M

　　MICRO-EPSILON ILD1402漢200 PC1402達8/I 8M 4森20mA

　　MICRO-EPSILON IF2008-Y

　　MICRO-EPSILON IF2004/USB

　　MICRO-EPSILON PC2300-3/IF2008

　　MICRO-EPSILON PC1402-3/IF2008

　　MICRO-EPSILON ILD1402漢200

　　MICRO-EPSILON ILD2300達200(02)

　　MICRO-EPSILON EC3/2傳感器附件

　　MICRO-EPSILON EA3200-ES04/180森(102)傳感器附件

　　MICRO-EPSILON ESC30傳感器附件

　　MICRO-EPSILON SCA3/5傳感器附件

　　MICRO-EPSILON SCD3/8傳感器附件

　　MICRO-EPSILON ES04/180漢(102)探頭

　　MICRO-EPSILON DT3301控制器

　　MICRO-EPSILON DS05(03)+DZ14全部

　　MICRO-EPSILON DS05(03)+DZ140控制器

　　MICRO-EPSILON 4120漢151達025森傳感器

　　MICRO-EPSILON ILD2300漢10LL位移傳感器

　　MICRO-EPSILON CLS-K-65/S-HAUNT 1004漢2787

　　MICRO-EPSILON FAD-T-S-3, 5X1 5漢295達-67