郜賽楠 QQ：2853369883   手機(jī)：18518172483 電話：010-64714988-174 傳真：010-84786709-667 郵件：[email protected]

PI（Physik Instrumente） 微型線性平臺Q-521微型線性平臺Q-521 Q?Motion®微型線性平臺

特點(diǎn)：

·         寬度僅21毫米，高度僅10毫米

·         帶有集成增量編碼器的直接位置測量

·         編碼器分辨率高達(dá)1 nm

·         最小增量運(yùn)動可達(dá)2 nm

·         帶轉(zhuǎn)接板或支架的多軸系統(tǒng)設(shè)置（可選）

·         可根據(jù)要求提供 10 ^-6 hPa的真空版本

壓電慣性驅(qū)動

壓電慣性驅(qū)動器是節(jié)省空間且價格合理的基于壓電的驅(qū)動器，具有相對較高的夾持力和幾乎無限的行程范圍。慣性驅(qū)動原理基于單個壓電致動器，該壓電致動器由特殊驅(qū)動器電子設(shè)備提供的修改后的鋸齒電壓進(jìn)行控制。執(zhí)行器緩慢膨脹并移動流道。由于其慣性，轉(zhuǎn)輪無法跟隨執(zhí)行器的后續(xù)快速收縮，并保持在其位置。驅(qū)動器的最高工作頻率為20 kHz，直接作用在轉(zhuǎn)輪上并達(dá)到最大速度。6毫米/秒

真空

 可根據(jù)要求提供10 ^-6 hPa的真空版本。

直接測量原理

線性位移臺配有非接觸式測量光學(xué)線性編碼器和參考開關(guān)。分辨率為4 nm或1 nm，具體取決于版本。

應(yīng)用領(lǐng)域

微型裝配，光子學(xué)，光學(xué)對準(zhǔn)，顯微鏡，光束線儀器，半導(dǎo)體技術(shù)，測試