瑞士Interapp高純度蝶閥執(zhí)行器

　　瑞士Interapp高純度蝶閥執(zhí)行器

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　　對(duì)高純度應(yīng)用的高要求

　　減少所有類型的污染是生產(chǎn)對(duì)污染敏感的產(chǎn)品(如半導(dǎo)體或制藥行業(yè))的最重要目標(biāo)。為了保證無(wú)故障生產(chǎn)過(guò)程并排除關(guān)鍵殘留物，制造過(guò)程中使用的所有產(chǎn)品都必須表現(xiàn)出高度純度。

　　為了分析我們的Bianca蝴蝶閥，Exyte技術(shù)有限公司的跟蹤分析部門(mén)，清潔室技術(shù)和控制環(huán)境專家，根據(jù)SEMB F40和F57委托進(jìn)行粒子和 TOC測(cè)試。

　　粒子測(cè)試

　　使用超現(xiàn)代粒子測(cè)量裝置Ultra DI 50在粒子殘留物上測(cè)試了高純度執(zhí)行中的Bianca蝴蝶閥，這是跟蹤分析的理想之選。

　　根據(jù) SEMI F40 和 F57，允許最大限值為 0.10 顆粒/毫升。比安卡蝴蝶閥的測(cè)試值為0.01顆粒/毫升，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于允許值。

　　托克測(cè)試

　　在 TOC 測(cè)試(有機(jī)碳測(cè)試總量)范圍內(nèi)，分析了超純水中所有有機(jī)碳的總和。

　　根據(jù) SEMI F40 和 F57 標(biāo)準(zhǔn)，該測(cè)試定義了 1 < ppb 的限制值。比安卡蝴蝶閥門(mén)也跌破這個(gè)值，測(cè)試值為0.7ppb。

　　高純度蝴蝶閥比安卡 - 高純度應(yīng)用的絕對(duì)安全性

　　Exyte技術(shù)有限公司進(jìn)行的粒子測(cè)試和 TOC 測(cè)試都證實(shí)，高純度執(zhí)行中的 Bianca 蝴蝶閥具有高度純度，非常適合用于生產(chǎn)對(duì)污染敏感的產(chǎn)品。

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